|
|
Журнал технической физики, 1984, том 54, выпуск 10, страницы 1948–1955
(Mi jtf2001)
|
|
|
|
Квантовая электроника
Концентрирующие голографические дифракционные
решетки
II. Экспериментальные результаты
Б. В. Егоров, С. Ю. Карпов, М. Н. Мизеров, Е. Л. Портной, В. Б. Смирницкий Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград
Аннотация:
Описана оригинальная технология изготовления концентрирующих
дифракционных решеток на поверхности полупроводникового кристалла, основанная
на селективном травлении полупроводника. Проведено экспериментальное
исследование решеток пилообразного профиля, изготовленных этим методом.
Экспериментальные результаты сравниваются с теоретическими,
полученными в приближении плоских волн.
Поступила в редакцию: 10.11.1983 Исправленный вариант: 26.03.1984
Образец цитирования:
Б. В. Егоров, С. Ю. Карпов, М. Н. Мизеров, Е. Л. Портной, В. Б. Смирницкий, “Концентрирующие голографические дифракционные
решетки
II. Экспериментальные результаты”, ЖТФ, 54:10 (1984), 1948–1955
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf2001 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v54/i10/p1948
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 182 | | PDF полного текста: | 100 |
|