|
Журнал технической физики, 1984, том 54, выпуск 11, страницы 2233–2237
(Mi jtf2058)
|
|
|
|
Электрожидкостная эпитаксия твердых растворов InAs$_{1-x}$Sb$_{x}$
Л. В. Голубев, О. В. Зеленова, С. В. Новиков, Ю. В. Шмарцев Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград
Аннотация:
Приводятся результаты по выращиванию слоев
InAs$_{1-x}$Sb$_{x}$ (${0.03\leqslant x\leqslant0.17}$) на подложках
$p$-GaSb методом электрожидкостной эпитаксии. Определены режимы
проведения процесса, обеспечивающие кристаллизацию эпитаксиальных слоев.
Проанализированы наблюдавшиеся немонотонные зависимости толщины слоев
от времени выращивания и от плотности тока. Полученные результаты объясняются
конкуренцией трех процессов: эффектов Пельтье, Джоуля
и электромиграции компонентов раствора–расплава.
Поступила в редакцию: 26.03.1984
Образец цитирования:
Л. В. Голубев, О. В. Зеленова, С. В. Новиков, Ю. В. Шмарцев, “Электрожидкостная эпитаксия твердых растворов InAs$_{1-x}$Sb$_{x}$”, ЖТФ, 54:11 (1984), 2233–2237
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf2058 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v54/i11/p2233
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 75 | PDF полного текста: | 25 |
|