|
Журнал технической физики, 1983, том 53, выпуск 3, страницы 601–603
(Mi jtf2265)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Коротковолновая УФ фотолитография
на основе сильноточных плазмодинамических разрядов
магнитоплазменного компрессора
Н. П. Козлов, А. С. Камруков, Г. Н. Кашников, В. К. Орлов, Ю. С. Протасов, И. Н. Рубцов, В. В. Ульянов, А. Н. Якименко
Образец цитирования:
Н. П. Козлов, А. С. Камруков, Г. Н. Кашников, В. К. Орлов, Ю. С. Протасов, И. Н. Рубцов, В. В. Ульянов, А. Н. Якименко, “Коротковолновая УФ фотолитография
на основе сильноточных плазмодинамических разрядов
магнитоплазменного компрессора”, ЖТФ, 53:3 (1983), 601–603
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf2265 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v53/i3/p601
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 53 | PDF полного текста: | 33 |
|