|
|
Журнал технической физики, 1990, том 60, выпуск 3, страницы 123–128
(Mi jtf3781)
|
|
|
|
Твердотельная электроника
Управление протяженностью переходных слоев при жидкофазной
гетероэпитаксии (ЖФГЭ) в системе InGaAsP/InP
К. Ю. Кижаев, В. И. Кучинский, С. А. Никишин, К. Ю. Погребицкий, В. Б. Смирницкий, Н. Н. Фалеев
Аннотация:
Приведены экспериментальные данные,
свидетельствующие о влиянии интенсивности
перемешивания расплава при жидкостной эпитаксии на протяженность переходных
слоев в системе InP/InGaAsP.
Образец цитирования:
К. Ю. Кижаев, В. И. Кучинский, С. А. Никишин, К. Ю. Погребицкий, В. Б. Смирницкий, Н. Н. Фалеев, “Управление протяженностью переходных слоев при жидкофазной
гетероэпитаксии (ЖФГЭ) в системе InGaAsP/InP”, ЖТФ, 60:3 (1990), 123–128
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf3781 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v60/i3/p123
|
|