|
Журнал технической физики, 1991, том 61, выпуск 3, страницы 74–79
(Mi jtf4191)
|
|
|
|
Твердое тело
ЭЖЭ — рост объемных кристаллов и одновременное получение слоев на
нескольких подложках
Л. В. Голубев, А. В. Егоров, С. В. Новиков, И. Г. Савельев, В. В. Чалдышев, Р. Г. Шаповалов, Ю. В. Шмарцев
Аннотация:
Разработано кристаллизационное устройство для получения
слоев и кристаллов соединений A$_{3}$B$_{5}$, пригодное к использованию
как в наземных условиях, так и в условиях микроускорений. Методом ЭЖЭ
в неземных условиях получены в атмосфере водорода и в атмосфере
аргона слои GaAs толщиной до 2 мм. Продемонстрирована возможность
получения слоев GaAs методом ЭЖЭ одновременно на нескольких подложках
в течение одного технологического процесса. Исследованы возможности
кристаллизации слоев GaAs в вакууме. Анализируются параметры
полученных слоев.
Образец цитирования:
Л. В. Голубев, А. В. Егоров, С. В. Новиков, И. Г. Савельев, В. В. Чалдышев, Р. Г. Шаповалов, Ю. В. Шмарцев, “ЭЖЭ — рост объемных кристаллов и одновременное получение слоев на
нескольких подложках”, ЖТФ, 61:3 (1991), 74–79
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf4191 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v61/i3/p74
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 81 | PDF полного текста: | 33 |
|