|
Журнал технической физики, 1991, том 61, выпуск 9, страницы 141–146
(Mi jtf4413)
|
|
|
|
Поверхность, электронная и ионная эмиссия
Модификация морфологии поверхности аморфизованных слоев кремния
в режимах локального излучения наносекундной длительности
А. В. Демчук, В. А. Лабунов
Аннотация:
В режимах локального плавления под действием
лазерного излучения наносекундой
длительности на поверхности аморфных слоев
кремния в результате плохой смачиваемости
ее собственным расплавом формируются области
расплава куполообразной формы. При этом
на поверхности поликристаллических слоев кремния
происходит уменьшение размера зерна
и куполообразных областей расплава не образуется.
Образец цитирования:
А. В. Демчук, В. А. Лабунов, “Модификация морфологии поверхности аморфизованных слоев кремния
в режимах локального излучения наносекундной длительности”, ЖТФ, 61:9 (1991), 141–146
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf4413 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v61/i9/p141
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 53 | PDF полного текста: | 25 |
|