Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2020, том 90, выпуск 11, страницы 1922–1930
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49985.112-20 (Mi jtf5163) 		 
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физическая электроника

Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей

И. Г. Забродин, М. В. Зорина, И. А. Каськов, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (2290 kB) Список цитирования (10) Английская версия
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49985.112-20
Аннотация: Описаны методики прецизионной обработки поверхности оптических элементов пучками ускоренных ионов. Приведены характеристики и возможности оборудования, а также решаемые с помощью него задачи. Подробно описаны возможности финишной коррекции локальных ошибок формы малоразмерным ионным пучком, осесимметричной коррекции/асферизации широкоапертурным сильноточным ионным пучком и ионной полировки. Представлены значения эффективной шероховатости поверхности плавленого кварца, ситалла, Zerodur'а, ULE$\circledR$ в диапазоне пространственных частот $q\in$ [2.5 $\cdot$ 10$^{-2}$–6.0 $\cdot$ 10$^{1}$ $\mu$m$^{-1}$], а также примеры формирования сферической поверхности и профиля асферизации.
Ключевые слова: ионно-пучковая методика, пучок ускорения, кварц, ситалл.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 075-02-2018-182
Работа выполнена с использованием оборудования ЦКП ИФМ РАН, при поддержке Минобрнауки РФ в рамках Соглашения № 075-02-2018-182 (RFMEFI60418X0202).
Поступила в редакцию: 03.04.2020
Исправленный вариант: 03.04.2020
Принята в печать: 03.04.2020
Английская версия:
Technical Physics, 2020, Volume 65, Issue 11, Pages 1837–1845
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784220110274
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: И. Г. Забродин, М. В. Зорина, И. А. Каськов, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1922–1930; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1837–1845
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZabZorKas20}
\by И.~Г.~Забродин, М.~В.~Зорина, И.~А.~Каськов, И.~В.~Малышев, М.~С.~Михайленко, А.~Е.~Пестов, Н.~Н.~Салащенко, А.~К.~Чернышев, Н.~И.~Чхало
\paper Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей
\jour ЖТФ
\yr 2020
\vol 90
\issue 11
\pages 1922--1930
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5163}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49985.112-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44588724}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2020
\vol 65
\issue 11
\pages 1837--1845
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784220110274}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5163
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1922
    • Эта публикация цитируется в следующих 10 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:383
    PDF полного текста:225
    Список литературы:1
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026