|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физические приборы и методы эксперимента
Измерения контактной жесткости в атомно-силовом микроскопе
А. В. Анкудиновa, М. М. Халисовb a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Институт физиологии им. И. П. Павлова РАН
Аннотация:
Предложен способ повышения точности наномеханических измерений в атомно-силовом микроскопе. Для описания контактного взаимодействия кантилевера с образцом использована аналитическая модель, учитывающая: защемлен зонд кантилевера или скользит по поверхности образца, геометрические и механические характеристики образца и кантилевера, их взаимное расположение. В предположении скольжения разработан фильтр для корректировки сигналов контактной жесткости и деформации, измеряемых на образце с развитым рельефом. Применение фильтра проиллюстрировано на изображениях, полученных в атомно-силовом микроскопе с режимом визуализации на базе поточечной регистрации силового квазистатического взаимодействия зонда кантилевера с образцом.
Ключевые слова:
атомно-силовая микроскопия, кантилевер, скользящий контакт зонд-образец, распределение деформации.
Поступила в редакцию: 03.04.2020 Исправленный вариант: 03.04.2020 Принята в печать: 03.04.2020
Образец цитирования:
А. В. Анкудинов, М. М. Халисов, “Измерения контактной жесткости в атомно-силовом микроскопе”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1951–1957; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1866–1872
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5167 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1951
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 322 | | PDF полного текста: | 244 | | Список литературы: | 1 |
|