|
Журнал технической физики, 1987, том 57, выпуск 1, страницы 146–151
(Mi jtf526)
|
|
|
|
Исследование особенностей диффузии титана при формировании оптических
волноводов в подложках из ниобата лития
Е. Т. Аксенов, А. В. Кухарев, M. Ю. Липовская, А. А. Липовский, А. В. Павленко Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина
Аннотация:
Приводятся результаты исследований процесса
диффузии титана в $Y$- и $Z$-срезах ниобата лития. Восстановление профилей
осуществлялось методом решения волнового уравнения, а также методом
вторичной ионной масс-спектроскопии. Путем исследования дифракции света
на фазовой решетке, сформированной за счет диффузии титана, определены
коэффициенты боковой диффузии титана в подложках из ниобата лития.
Поступила в редакцию: 25.06.1985
Образец цитирования:
Е. Т. Аксенов, А. В. Кухарев, M. Ю. Липовская, А. А. Липовский, А. В. Павленко, “Исследование особенностей диффузии титана при формировании оптических
волноводов в подложках из ниобата лития”, ЖТФ, 57:1 (1987), 146–151
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf526 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v57/i1/p146
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 79 | PDF полного текста: | 38 |
|