Реактивный магнетронный синтез и исследование структуры и оптических свойств тонкопленочного оксида вольфрама, легированного молибденом

Для получения электрохромного катодного материала, спектральное пропускание которого можно регулировать уровнем легирования, применено катионное легирование оксида вольфрама молибденом. Методом реактивного магнетронного ко-распыления металлических мишеней вольфрама и молибдена в смеси газов аргона и кислорода синтезирована серия тонкопленочных образцов. Их морфология, структура, элементный состав и валентные состояния составляющих элементов охарактеризованы методами сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской дифракции, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Оптические свойства измерены с использованием спектрофотометрии пропускания и спектроскопической эллипсометрии. С повышением степени легирования полученные пленки приобретают серую окраску и становятся малопрозрачными. Эллипсометрические исследования показали, что при этом усиливается поглощение как в коротковолновой, так и в длинноволновой части видимого и прилежащих к нему частей спектра. В результате происходит взаимная компенсация цветового окрашивания, которая приводит к почти ахроматическому изменению оптического пропускания, улучшая, таким образом, потребительские качества электрохимического материала и устройств на основе оксида вольфрама.