Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2024, том 94, выпуск 4, страницы 646–651
DOI: https://doi.org/10.61011/JTF.2024.04.57536.156-23 (Mi jtf6759) 		 
Физика низкоразмерных структур

Влияние температуры подложки на свойства пленок GaS, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы

М. А. Кудряшовab, Л. А. Мочаловab, М. А. Вшивцевa, И. О. Прохоровa, Ю. М. Спивакc, В. А. Мошниковc, Ю. П. Кудряшоваb, П. В. Мосягинb, Е. А. Слаповскаяb, В. М. Малышевa

a Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева, 603155 Нижний Новгород, Россия
b Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 603022 Нижний Новгород, Россия
c Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ», 197022 Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (1437 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/JTF.2024.04.57536.156-23
Аннотация: Методом плазмохимического осаждения из газовой фазы впервые получены тонкие пленки GaS. В качестве прекурсоров использованы высокочистые элементарные Ga и S. Плазму возбуждали высокочастотным генератором (40.68 MHz) при пониженном давлении 0.1 Torr. Изучены состав, структурные и оптические свойства пленок GaS в зависимости от температуры подложки. Все пленки являлись высоко прозрачными (75%) в диапазоне 400–1100 nm.
Ключевые слова: сульфид галлия, пленки, PECVD, структура, оптические свойства.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 22-19-20081
Исследование выполнено при поддержке Российского научного фонда, грант № 22-19-20081, https://rscf.ru/en/project/22-19-20081/.
Поступила в редакцию: 26.06.2023
Исправленный вариант: 30.12.2023
Принята в печать: 17.01.2024
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. А. Кудряшов, Л. А. Мочалов, М. А. Вшивцев, И. О. Прохоров, Ю. М. Спивак, В. А. Мошников, Ю. П. Кудряшова, П. В. Мосягин, Е. А. Слаповская, В. М. Малышев, “Влияние температуры подложки на свойства пленок GaS, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы”, ЖТФ, 94:4 (2024), 646–651
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KudMocVsh24}
\by М.~А.~Кудряшов, Л.~А.~Мочалов, М.~А.~Вшивцев, И.~О.~Прохоров, Ю.~М.~Спивак, В.~А.~Мошников, Ю.~П.~Кудряшова, П.~В.~Мосягин, Е.~А.~Слаповская, В.~М.~Малышев
\paper Влияние температуры подложки на свойства пленок GaS, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы
\jour ЖТФ
\yr 2024
\vol 94
\issue 4
\pages 646--651
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf6759}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=64993580}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf6759
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v94/i4/p646
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026