Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2024, том 94, выпуск 7, страницы 1119–1127
DOI: https://doi.org/10.61011/JTF.2024.07.58348.120-24 (Mi jtf6814) 		 
XXVIII Международный симпозиум ''Нанофизика и наноэлектроника'', Н. Новгород, 11-15 марта 2024 г.
Фотоника

Высокочастотные многослойные дифракционные Si-решетки с малым углом блеска – изготовление

Д. В. Моховa, Т. Н. Березовскаяa, Е. В. Пироговa, К. Ю. Шубинаa, Н. Д. Прасоловb, М. В. Зоринаc, С. А. Гарахинc, Р. С. Плешковc, Н. И. Чхалоc, А. С. Дашковad, Н. А. Костроминad, Л. И. Горайadef, А. Д. Буравлевfbde

a Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
c Институт физики микроструктур РАН, 603087 Афонино, Кстовский р-н, Нижегородская обл., Россия
d Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), 197022 Санкт-Петербург, Россия
e Институт аналитического приборостроения РАН, 198095 Санкт-Петербург, Россия
f Университет при Межпарламентской ассамблее ЕврАзЭС, 199226 Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (1006 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/JTF.2024.07.58348.120-24
Аннотация: Высокочастотные рентгеновские дифракционные решетки с плотностью штрихов 2500 mm$^{-1}$ и малым углом блеска были изготовлены на пластинах Si(111)1.8$^\circ$ с использованием электронно-лучевой литографии и жидкостного анизотропного травления. Многослойное Mo/Be-покрытие, состоящее из 40 бислоев для длины волны 11.3 nm, было нанесено методом магнетронного напыления. Профиль штрихов в процессе изготовления решеток контролировался с помощью атомно-силовой и растровой электронной микроскопии. Полученные с помощью атомно-силовой микроскопии усредненный профиль одного штриха, неусредненные случайные профили длиной несколько периодов и значения высокочастотной и среднечастотной шероховатости лучших дифракционных решеток будут использованы для последующего моделирования дифракционной эффективности в компьютерной программе PCGrate$^{\mathrm{TM}}$.
Ключевые слова: дифракционная Si-решетка с блеском, малый угол блеска, многослойное Mo/Be-покрытие, электронно-лучевая литография, жидкостное анизотропное травление, магнетронное напыление, шероховатость отражающей грани, атомно-силовая микроскопия, растровая электронная микроскопия, экстремальный ультрафиолет.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации FSRM-2023-0006
Российский научный фонд 23-29-00216
Работа Т.Н. Березовской, Л.И. Горая, А.С. Дашкова, Д.В. Мохова, Е.В. Пирогова и К.Ю. Шубиной поддержана Министерством образования и науки Российской Федерации (FSRM-2023-0006) в части экспериментальных исследований. Работа Л.И. Горая, А.С. Дашкова и Н.А. Костромина поддержана Российским научным фондом в плане теоретических исследований (№ 23-29-00216).
Поступила в редакцию: 17.04.2024
Исправленный вариант: 17.04.2024
Принята в печать: 17.04.2024
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. В. Мохов, Т. Н. Березовская, Е. В. Пирогов, К. Ю. Шубина, Н. Д. Прасолов, М. В. Зорина, С. А. Гарахин, Р. С. Плешков, Н. И. Чхало, А. С. Дашков, Н. А. Костромин, Л. И. Горай, А. Д. Буравлев, “Высокочастотные многослойные дифракционные Si-решетки с малым углом блеска – изготовление”, ЖТФ, 94:7 (2024), 1119–1127
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MokBerPir24}
\by Д.~В.~Мохов, Т.~Н.~Березовская, Е.~В.~Пирогов, К.~Ю.~Шубина, Н.~Д.~Прасолов, М.~В.~Зорина, С.~А.~Гарахин, Р.~С.~Плешков, Н.~И.~Чхало, А.~С.~Дашков, Н.~А.~Костромин, Л.~И.~Горай, А.~Д.~Буравлев
\paper Высокочастотные многослойные дифракционные Si-решетки с малым углом блеска -- изготовление
\jour ЖТФ
\yr 2024
\vol 94
\issue 7
\pages 1119--1127
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf6814}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=72709693}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf6814
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v94/i7/p1119
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:91
    PDF полного текста:37
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026