Высокочастотные дифракционные Mo/Be-решетки с малым углом блеска–исследование эффективности

Представлены результаты исследований дифракционной эффективности решеток с блеском, выполненные путем моделирования в компьютерной программе PCGrate$^{\mathrm{TM}}$ с использованием полученных с помощью атомно-силовой микроскопии профилей штрихов и измерений на лабораторном рефлектометре с высокоразрешающим спектрометром Черни–Тёрнера. Высокочастотные дифракционные решетки с плотностью 2500 mm$^{-1}$ и малым углом наклона отражающей грани были изготовлены на пластинах Si(111)1.8$^\circ$ с использованием электронно-лучевой литографии и анизотропного жидкостного травления. Решетка с углом блеска $\sim$1.7$^\circ$, покрытая 40 бислоями Mo/Be, продемонстрировала в классической схеме абсолютную дифракционную эффективность минус второго порядка $\sim$38% при угле падения 3$^\circ$ неполяризованного излучения с длиной волны 11.3 nm. С учетом измеренного коэффициента отражения многослойного покрытия $\sim$0.6 максимальная относительная (решеточная) эффективность составила $\sim$63%.