Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2023, том 93, выпуск 6, страницы 804–808
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.06.55605.47-23 (Mi jtf7010) 		 
Физическое материаловедение

Гомогенное зародышеобразование при лазерно-плазмохимическом синтезе твердых покрытий SiCN из гексаметилдисилазана

В. Н. Деминa, В. О. Борисовa, А. М. Баклановb, Г. Н. Грачевc, А. Л. Смирновc, С. Н. Багаевc

a Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
b Институт химической кинетики и горения СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
c Институт лазерной физики СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
PDF полного текста (816 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.06.55605.47-23
Аннотация: С использованием дифференциального спектрометра аэрозолей проведено изучение гомогенного образования зародышей твердой фазы в процессе лазерно-плазмохимического осаждения SiCN из паров гексаметилдисилазана в потоке плазмообразующего газа аргона. Найдено, что характерный размер наночастиц SiCN в газовой фазе находится в диапазоне 20–120 nm и зависит от концентрации паров гексаметилдисилазана и скорости общего потока аргона. Проведенные исследования показали, что образование слоя карбонитрида кремния в лазерном плазмохимическом осаждении идет с образованием зародышей в газовой фазе, и при их соударении с подложкой и активации лазерной плазмой образуется твердое наноструктурированное покрытие.
Ключевые слова: лазерно-плазмохимическое осаждение, карбонитрид кремния, гомогенное зародышеобразование.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 121031700314-5
Работа выполнена при поддержке Министерства образования и науки, проект № 121031700314-5.
Поступила в редакцию: 20.03.2023
Исправленный вариант: 26.04.2023
Принята в печать: 28.04.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Н. Демин, В. О. Борисов, А. М. Бакланов, Г. Н. Грачев, А. Л. Смирнов, С. Н. Багаев, “Гомогенное зародышеобразование при лазерно-плазмохимическом синтезе твердых покрытий SiCN из гексаметилдисилазана”, ЖТФ, 93:6 (2023), 804–808
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{DemBorBak23}
\by В.~Н.~Демин, В.~О.~Борисов, А.~М.~Бакланов, Г.~Н.~Грачев, А.~Л.~Смирнов, С.~Н.~Багаев
\paper Гомогенное зародышеобразование при лазерно-плазмохимическом синтезе твердых покрытий SiCN из гексаметилдисилазана
\jour ЖТФ
\yr 2023
\vol 93
\issue 6
\pages 804--808
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7010}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2023.06.55605.47-23}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=53984178}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7010
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v93/i6/p804
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:165
    PDF полного текста:82
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026