Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2023, том 93, выпуск 6, страницы 836–839
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.06.55610.52-23 (Mi jtf7015) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Физическая электроника

Расчет компонентного состава поверхностных слоев карбида титана при распылении легкими ионами

В. В. Манухин

Национальный исследовательский университет «Московский энергетический институт», 111250 Москва, Россия
PDF полного текста (250 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2023.06.55610.52-23
Аннотация: На основе ранее апробированной модели распыления бинарных слоистых неоднородных мишеней легкими ионами предложен метод расчета компонентного состава поверхностных слоев карбида титана при стационарном (стехиометричном) распылении легкими ионами. Результаты расчетов сравниваются с экспериментальными данными и результатами компьютерного моделирования. Предложенный метод, основанный на модели распыления бинарных слоистых неоднородных мишеней, позволил провести оценку толщины измененного поверхностного слоя. Предлагаемая методика расчета позволила разработать технологию создания поверхностей карбида титана с заданным соотношением компонентов.
Ключевые слова: модифицированная поверхность, парциальный коэффициент распыления, стационарное (стехиометричное) распыление, слоисто-неоднородная поверхность.
Поступила в редакцию: 24.03.2023
Исправленный вариант: 23.04.2023
Принята в печать: 23.04.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. В. Манухин, “Расчет компонентного состава поверхностных слоев карбида титана при распылении легкими ионами”, ЖТФ, 93:6 (2023), 836–839
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Man23}
\by В.~В.~Манухин
\paper Расчет компонентного состава поверхностных слоев карбида титана при распылении легкими ионами
\jour ЖТФ
\yr 2023
\vol 93
\issue 6
\pages 836--839
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf7015}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2023.06.55610.52-23}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=53984183}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf7015
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v93/i6/p836
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:178
    PDF полного текста:114
    Список литературы:1
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026