Кремниевые решетки с блеском для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения: влияние формы профиля штриха и случайной шероховатости на дифракционную эффективность

Исследовано влияние формы профиля штриха и случайной шероховатости отражающей грани пяти дифракционных кремниевых решеток (угол блеска 1–4$^\circ$, период 0.4, 1.4, 2 и 4 $\mu$m, различные покрытия), работающих в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазонах излучения, на отток дифракционной эффективности из рабочих порядков. Дифракционные решетки были изготовлены жидкостным травлением вицинальных пластин Si(111) и охарактеризованы методом атомно-силовой микроскопии для определения формы профиля штриха и шероховатости. На основе реалистичных профилей штрихов компьютерным моделированием в программе PCGrate$^{\mathrm{TM}}$, учитывая интенсивность рассеяния с помощью поправок типа Нево–Кросе или Дебая–Валлера и по методу Монте-Карло (строго), была рассчитана дифракционная эффективность решеток, работающих в схемах классической и конической дифракции. Показано влияние формы профиля штриха и шероховатости на дифракционную эффективность изготавливаемых Si-решеток.