Использование морфометрических величин при изучении рельефа поверхности рентгенооптических элементов

Рассмотрено применение морфометрических величин (кривизны максимальной, минимальной, средней, топографического индекса и др.) при исследовании поверхности рентгенооптических элементов. Расчеты проведены на цифровых моделях рельефа сферических вогнутых подложек: изначальных и сглаженных цифровых моделях рельефа, до и после технологических обработок (механического притира, осесимметричной обработки, локальной обработки). Продемонстрирована наглядная визуализация слабовыраженных неоднородностей, в том числе не отображаемых на картах исходных цифровых моделей рельефа. Рассмотрение включало изучение как исследуемых образцов, так и погрешностей формирования цифровых моделей рельефа (артефактов от регистрирующей системы и от неоднородности среды), а также особенности масштабной декомпозиции при использовании универсального спектрально-аналитического метода.