|
|
Журнал технической физики, 2015, том 85, выпуск 6, страницы 143–147
(Mi jtf7812)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
Физические приборы и методы эксперимента
Чувствительные элементы датчиков вакуума на основе пористых наноструктурированных пленок SiO$_2$–SnO$_2$, полученных золь-гель методом
И. А. Аверинa, С. Е. Игошинаa, В. А. Мошниковb, А. А. Кармановa, И. А. Пронинa, Е. И. Теруковc a Пензенский государственный университет, 440026 Пенза, Россия
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 197376 Санкт-Петербург, Россия
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021, Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Исследованы пористые наноструктурированные пленки SiO$_2$–SnO$_2$, синтезируемые золь-гель методом, используемые в качестве чувствительных элементов датчиков вакуума. Для этого сформированы и проанализированы свойства пленок со сферической, лабиринтной и перколяционной сетчатой структурой. Показано, что при уменьшении давления ниже атмосферного происходит резкое уменьшение сопротивления чувствительных элементов на основе наноструктурированных пленок. Исследованы процессы, протекающие в пленках, при давлениях ниже атмосферного. Установлено, что десорбция паров воды приводит к увеличению сопротивления чувствительных элементов датчиков вакуума, а десорбция углекислого газа и кислорода вызывает его уменьшение, что хорошо согласуется с результатами экспериментов.
Поступила в редакцию: 20.10.2014
Образец цитирования:
И. А. Аверин, С. Е. Игошина, В. А. Мошников, А. А. Карманов, И. А. Пронин, Е. И. Теруков, “Чувствительные элементы датчиков вакуума на основе пористых наноструктурированных пленок SiO$_2$–SnO$_2$, полученных золь-гель методом”, ЖТФ, 85:6 (2015), 143–147; Tech. Phys., 60:6 (2015), 928–932
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf7812 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v85/i6/p143
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 57 | | PDF полного текста: | 27 |
|