Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2013, том 83, выпуск 2, страницы 97–102 (Mi jtf8358)  
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)

Твердотельная электроника

Синтез углеродных пленок в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда

Е. Г. Шустин, Н. В. Исаев, И. Л. Клыков, В. В. Песков, В. И. Поляков, А. И. Руковишников, М. П. Темирязева

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
PDF полного текста (667 kB) Список цитирования (5) Английская версия
Аннотация: Разработана модификация плазмохимического реактора на основе пучково-плазменного разряда для осаждения углеродных, в том числе алмазоподобных (DLC) пленок, отличающаяся от известных методов простотой управления энергетическими характеристиками ионного потока, воздействующего на пленку в процессе осаждения. Описана техника компьютерного моделирования характеристик ионного потока на электроизолированную поверхность в режиме модуляции потенциала плазмы, позволяющая прогнозировать энергию и поток ионов, воздействующих на осаждаемую пленку. Получены образцы DLC-пленок на металлических подложках. Методом зарядовой релаксационной спектроскопии выявлен эффект влияния адсорбированных паров воды и спирта на электрофизические свойства пленок, что свидетельствует о возможности использования полученных пленок в качестве активного адсорбирующего материала для химических сенсоров.
Поступила в редакцию: 28.02.2012
Английская версия:
Technical Physics, 2013, Volume 58, Issue 2, Pages 245–250
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784213020229
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Е. Г. Шустин, Н. В. Исаев, И. Л. Клыков, В. В. Песков, В. И. Поляков, А. И. Руковишников, М. П. Темирязева, “Синтез углеродных пленок в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда”, ЖТФ, 83:2 (2013), 97–102; Tech. Phys., 58:2 (2013), 245–250
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShuIsaKly13}
\by Е.~Г.~Шустин, Н.~В.~Исаев, И.~Л.~Клыков, В.~В.~Песков, В.~И.~Поляков, А.~И.~Руковишников, М.~П.~Темирязева
\paper Синтез углеродных пленок в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда
\jour ЖТФ
\yr 2013
\vol 83
\issue 2
\pages 97--102
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf8358}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20325806}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2013
\vol 58
\issue 2
\pages 245--250
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784213020229}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf8358
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v83/i2/p97
    • Эта публикация цитируется в следующих 5 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:159
    PDF полного текста:114
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026