Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2025, том 95, выпуск 10, страницы 1861–1869
DOI: https://doi.org/10.61011/JTF.2025.10.61339.75-25 (Mi jtf8570) 		 
XXIX Cимпозиум "Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород 10-14 марта 2025 г.
Фотоника

Изготовление дифракционных решеток c блеском с переменной плотностью штрихов

Д. В. Моховa, Т. Н. Березовскаяa, К. Ю. Шубинаa, Е. В. Пироговa, Н. Д. Прасоловb, Л. И. Горайacde, А. Д. Буравлевbcd

a Академический университет им. Ж.И. Алфёрова РАН, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
c Институт аналитического приборостроения РАН, 198095 Санкт-Петербург, Россия
d Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), 197022 Санкт-Петербург, Россия
e Институт космических исследований РАН, 117997 Москва, Россия
PDF полного текста (1789 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/JTF.2025.10.61339.75-25
Аннотация: Решетки с блеском и переменным расстоянием между штрихами (VLS) изготовлены на кремниевых подложках с использованием прямой лазерной литографии и анизотропного жидкостного травления. Параметры решеток в процессе изготовления контролировались с помощью методов растровой электронной и атомно-силовой микроскопии. Сообщено о деталях изготовления и характеристиках прототипов VLS-решетки с различными углами блеска, предназначенной для полихроматора солнечно-слепой части УФ диапазона.
Ключевые слова: дифракционная Si-решетка, решетка с переменным периодом, угол блеска, треугольный профиль штриха, атомно-силовая микроскопия, растровая электронная микроскопия, солнечно-слепой ультрафиолет.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации FSRM-2023-0006
Российский научный фонд 25-12-00139
Работа выполнена при частичной поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации (FSRM-2023-0006). Работа Д.В. Мохова, Л.И. Горая и Д.А. Буравлева поддержана Российским научным фондом в плане теоретических исследований (№ 25-12-00139).
Поступила в редакцию: 29.04.2025
Исправленный вариант: 29.04.2025
Принята в печать: 29.04.2025
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. В. Мохов, Т. Н. Березовская, К. Ю. Шубина, Е. В. Пирогов, Н. Д. Прасолов, Л. И. Горай, А. Д. Буравлев, “Изготовление дифракционных решеток c блеском с переменной плотностью штрихов”, ЖТФ, 95:10 (2025), 1861–1869
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MokBerShu25}
\by Д.~В.~Мохов, Т.~Н.~Березовская, К.~Ю.~Шубина, Е.~В.~Пирогов, Н.~Д.~Прасолов, Л.~И.~Горай, А.~Д.~Буравлев
\paper Изготовление дифракционных решеток c блеском с переменной плотностью штрихов
\jour ЖТФ
\yr 2025
\vol 95
\issue 10
\pages 1861--1869
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf8570}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=83894990}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf8570
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v95/i10/p1861
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:44
    PDF полного текста:27
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026