|
|
Наносистемы: физика, химия, математика, 2012, том 3, выпуск 5, страницы 33–41
(Mi nano702)
|
|
|
|
ФИЗИКА
Получение топограмм с использованием импульсного терагерцового рефлектометра
М. С. Куля, Я. В. Грачев, В. Г. Беспалов Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Рассмотрены возможности экспериментальной установки регистрации временной формы импульсного ТГц излучения, отраженного от объектов (ТГц рефлектометр) для импульсной терагерцовой рефлектометрической томографии визуализации внутренней структуры объектов, прозрачных в ТГц диапазоне частот. Получены двух- и трехмерные топограммы тестового объекта, определены пределы разрешения данного метода. Выявлено, что пространственно-временная регистрация формы отраженных импульсов позволяет достаточно эффективно формировать топограммы поверхностей с глубиной рельефа в диапазоне от 1 до 1000 мкм.
Ключевые слова:
импульсное терагерцовое излучение, томография, рефлектометрия, дефектоскопия.
Образец цитирования:
М. С. Куля, Я. В. Грачев, В. Г. Беспалов, “Получение топограмм с использованием импульсного терагерцового рефлектометра”, Наносистемы: физика, химия, математика, 3:5 (2012), 33–41
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/nano702 https://www.mathnet.ru/rus/nano/v3/i5/p33
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 195 | | PDF полного текста: | 151 | | Список литературы: | 2 |
|