|
Международная конференция ФизикА.СПб/2023 23-27 октября 2023 г., Санкт-Петербург
Прикладная оптика
Моделирование и измерение локального перемещения актюаторов в пьезокерамических линейках при уменьшении поперечного сечения
В. В. Топоровскийa, В. В. Самаркинa, А. В. Кудряшовa, И. В. Галактионовa, А. А. Паничb, А. Ю. Малыхинb a Институт динамики геосфер имени академика М.А. Садовского РАН,
119334 Москва, Россия
b Южный федеральный университет, Институт высоких технологий и пьезотехники, 119334 Москва, Россия
Аннотация:
Произведено численное моделирование многослойных пьезоактюаторов с площадью поперечного сечения 2 $\times$ 2 mm. Было показано, что при использовании межэлектродной коммутации в пьезоактюаторах наблюдается локальное перераспределение максимумов поперечной деформации, что приводит к снижению механической прочности и надежности управляющих элементов. Были произведены пьезокерамические линейки с идентичными линейными размерами и измерены механические и электрофизические свойства разработанных устройств. Выявлено, что перемещение при управляющем напряжении 300 V снижается с 4 до 1.5 $\mu$m при использовании межэлектродного способа коммутации в сравнении с многослойными актюаторами большего сечения из-за снижения эффективной площади поляризации пьезоактюаторов. Были изготовлены пьезокерамические линейки с проволочным типом коммутации, где перемещение при управляющем напряжении 300 V составило 4.6–4.8 $\mu$m.
Ключевые слова:
корректоры волнового фронта, многослойные пьезоактюаторы, метод конечных элементов, адаптивная оптика.
Поступила в редакцию: 12.05.2023 Исправленный вариант: 16.10.2023 Принята в печать: 30.10.2023
Образец цитирования:
В. В. Топоровский, В. В. Самаркин, А. В. Кудряшов, И. В. Галактионов, А. А. Панич, А. Ю. Малыхин, “Моделирование и измерение локального перемещения актюаторов в пьезокерамических линейках при уменьшении поперечного сечения”, Оптика и спектроскопия, 131:11 (2023), 1532–1536
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os1527 https://www.mathnet.ru/rus/os/v131/i11/p1532
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 19 | PDF полного текста: | 14 |
|