Проблемы физики, математики и техники
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ПФМТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Проблемы физики, математики и техники, 2024, выпуск 4(61), страницы 7–12
DOI: https://doi.org/10.54341/20778708_2024_4_61_7
(Mi pfmt992)
 

ФИЗИКА

Влияние условий осаждения на структуру и механические свойства a-С покрытий

Цзинцзе Ванa, Д. Г. Пилипцовa, А. В. Рогачёвa, А. С. Руденковa, К. А. Саховскийa, С. Ю. Чепкасовb

a Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины
b Новосибирский национальный исследовательский государственный университет
Список литературы:
DOI: https://doi.org/10.54341/20778708_2024_4_61_7
Аннотация: Методом импульсного катодно-дугового испарения сформированы аморфные углеродные покрытия. Определены зависимость скорости осаждения, фазового состава, шероховатости RMS, механических свойств покрытий от ориентации подложки по отношению к потоку углеродной плазмы. Показано, что параметры осаждения и свойства покрытий немонотонно изменяются при увеличении угла падения потока на подложку. На основании данных атомно-силовой микроскопии установлена зависимость шероховатости RMS покрытий от угла падения потока. Наиболее высокое содержание sp$^3$-фазы, твердость и модуль упругости достигаются при угле падения 15$^\circ$.
Ключевые слова: углеродные покрытия, осаждение, структура, морфология, механические свойства.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования Республики Беларусь 20212075
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования Республики Беларусь (проект № 20212075).
Поступила в редакцию: 05.09.2024
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 538.951:620.3
Образец цитирования: Цзинцзе Ван, Д. Г. Пилипцов, А. В. Рогачёв, А. С. Руденков, К. А. Саховский, С. Ю. Чепкасов, “Влияние условий осаждения на структуру и механические свойства a-С покрытий”, ПФМТ, 2024, № 4(61), 7–12
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{WanPilRog24}
\by Цзинцзе~Ван, Д.~Г.~Пилипцов, А.~В.~Рогачёв, А.~С.~Руденков, К.~А.~Саховский, С.~Ю.~Чепкасов
\paper Влияние условий осаждения на структуру и механические свойства a-С покрытий
\jour ПФМТ
\yr 2024
\issue 4(61)
\pages 7--12
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pfmt992}
\edn{https://elibrary.ru/ANRURM}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt992
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2024/i4/p7
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Проблемы физики, математики и техники
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:59
    PDF полного текста:30
    Список литературы:32
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026