|
Проблемы физики, математики и техники, 2024, выпуск 4(61), страницы 7–12 DOI: https://doi.org/10.54341/20778708_2024_4_61_7
(Mi pfmt992)
|
|
|
|
ФИЗИКА
Влияние условий осаждения на структуру и механические свойства a-С покрытий
Цзинцзе Ванa, Д. Г. Пилипцовa, А. В. Рогачёвa, А. С. Руденковa, К. А. Саховскийa, С. Ю. Чепкасовb a Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины
b Новосибирский национальный исследовательский государственный университет
DOI:
https://doi.org/10.54341/20778708_2024_4_61_7
Аннотация:
Методом импульсного катодно-дугового испарения сформированы аморфные углеродные покрытия.
Определены зависимость скорости осаждения, фазового состава, шероховатости RMS, механических свойств покрытий
от ориентации подложки по отношению к потоку углеродной плазмы. Показано, что параметры осаждения и свойства
покрытий немонотонно изменяются при увеличении угла падения потока на подложку. На основании данных атомно-силовой микроскопии установлена зависимость шероховатости RMS покрытий от угла падения потока. Наиболее
высокое содержание sp$^3$-фазы, твердость и модуль упругости достигаются при угле падения 15$^\circ$.
Ключевые слова:
углеродные покрытия, осаждение, структура, морфология, механические свойства.
Поступила в редакцию: 05.09.2024
Образец цитирования:
Цзинцзе Ван, Д. Г. Пилипцов, А. В. Рогачёв, А. С. Руденков, К. А. Саховский, С. Ю. Чепкасов, “Влияние условий осаждения на структуру и механические свойства a-С покрытий”, ПФМТ, 2024, № 4(61), 7–12
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pfmt992 https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2024/i4/p7
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 59 | | PDF полного текста: | 30 | | Список литературы: | 32 |
|