|
Физика и техника полупроводников, 1985, том 19, выпуск 2, страницы 300–302
(Mi phts1076)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Ионизационно-стимулированный механизм миграции примесей
в ионно-имплантированных полупроводниках
П. К. Хабибуллаев, М. С. Юнусов, Ш. Махкамов, Б. Л. Оксенгендлер, Ю. В. Пахаруков
Образец цитирования:
П. К. Хабибуллаев, М. С. Юнусов, Ш. Махкамов, Б. Л. Оксенгендлер, Ю. В. Пахаруков, “Ионизационно-стимулированный механизм миграции примесей
в ионно-имплантированных полупроводниках”, Физика и техника полупроводников, 19:2 (1985), 300–302
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts1076 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v19/i2/p300
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 57 | PDF полного текста: | 31 |
|