Исследование шума лавинного фотодиода на основе $6H$-карбида кремния

Приведены результаты, характеризующие зависимость спектральной плотности шума от коэффициента умножения лавинного фотодиода на основе $6H$-SiC, который работал в режиме умножения фототока. Сравнение с теорией позволило установить, что в том случае, когда электрическое поле ${F\parallel C}$, ударная ионизация вплоть до полей ${F\simeq 5.5\cdot10^{6}}$ В/см носит явный монополярный характер ${\beta\gg\alpha}$, а при ${F > 5.5\cdot10^{6}}$ В/см сказывается биполярность, тогда как для ${F\perp C}$ ударная ионизация биполярна во всем измеренном диапазоне электрических полей. Здесь $C$— направление сверхструктуры кристалла, $\beta$, $\alpha$ — дырочный и электронный коэффициенты ударной ионизации.