|
|
Физика и техника полупроводников, 1989, том 23, выпуск 6, страницы 1009–1014
(Mi phts3395)
|
|
|
|
Время жизни неравновесных дырок в диодах на основе SiC
А. В. Наумов, В. И. Санкин
Аннотация:
Методом переключения из прямого направления в обратное
в $p^{+}{-}n$- и $p^{+}{-}n{-}n^{+}$-структурах на основе $6H$-SiC
проведены измерения времени жизни дырок
$\tau_{p}$. Исследовались два типа диодов, различающихся базовым
материалом $n$-типа: 1) промышленные монокристаллы с
${N_{D}-N_{A}\sim2\cdot10^{18}\,\text{см}^{-3}}$, 2) эпитаксиальные
пленки с ${N_{D}-N_{A}\sim2\cdot10^{17}\,\text{см}^{-3}}$. Между этими
диодами выявлены заметные различия в величине $\tau_{p}$ и его температурной
зависимости. Результаты измерений интерпретируются в рамках теории каскадного
захвата при наличии электрического поля, которое в данном случае,
вероятно, обусловлено внутренними деформациями. Реальность такого предположения подтверждается весьма небольшой
величиной необходимых деформаций
${S_{i}=3\cdot 10^{-8}\div3\cdot10^{-7}}$ для создания полей
порядка ${10^{3}\div10^{4}}$ В/см, возникающих, по-видимому, при
эпитаксиальном наращивании $p^{+}$(Аl)-слоя.
Образец цитирования:
А. В. Наумов, В. И. Санкин, “Время жизни неравновесных дырок в диодах на основе SiC”, Физика и техника полупроводников, 23:6 (1989), 1009–1014
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts3395 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v23/i6/p1009
|
|