Ультрафиолетовые карбид-кремниевые фотоприемники

Приведены характеристики различных карбид-кремниевых фотоприемников: 1)  на барьере Шоттки; 2)  на $p{-}n$-переходах, полученных эпитаксией и диффузией алюминия и бора; 3)  лавинные фотодиоды. Показано, что они обладают высокой эффективностью в УФ области спектра с максимумом чувствительности 250$-$330 нм и сохраняют работоспособность до температур 500$^{\circ}$C.