Лазерно-стимулированная диффузия золота в кремнии

Исследована диффузия золота в кремнии при непрерывной лазерной обработке с применением сканирующего устройства Установлено, что при мощности лазерного излучения $10^{5}$ Вт/см$^{2}$ введение золота в кремний происходит в поле градиента температур, в котором наблюдается глубина проникновения, достигающая ${>100}$ мкм На основе полученных диффузионных и электрофизических характеристик предложен механизм лазерно-стимулированной диффузии золота в кремнии, учитывающий кроме высокотемпературного нагрева и фотоионизационные процессы.