|
Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, выпуск 7, страницы 997–1000
(Mi phts6427)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур
Хлоридная эпитаксия слоев $\beta$-Ga$_{2}$O$_{3}$ на сапфировых подложках базисной ориентации
В. И. Николаевabc, А. И. Печниковab, С. И. Степановbd, Ш. Ш. Шарофидиновbc, А. А. Головатенкоabc, И. П. Никитинаc, А. Н. Смирновc, В. Е. Бугровb, А. Е. Романовbc, П. Н. Брунковbc, Д. А. Кириленкоbc a ООО "Совершенные кристаллы", Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
d Санкт-Петербургский политехнический университет
Аннотация:
Методом хлоридной эпитаксии получены эпитаксиальные слои $\beta$-Ga$_{2}$O$_{3}$ на сапфире с использованием в качестве источника кислорода воздуха. Слои были исследованы с помощью методов рентгеновской дифракции, оптической, растровой электронной и просвечивающей электронной микроскопии, микрорамановской спектроскопии. Установлено, что слои ориентированы плоскостью ($\bar2$ 01) параллельно поверхности подложки и в них имеются отдельные крупные кристаллические зерна трех ориентаций, отличающихся друг от друга поворотом на 60$^\circ$ в данной плоскости, что, вероятно, обусловлено различием в симметрии слоев и подложки.
Поступила в редакцию: 16.12.2015 Принята в печать: 23.12.2015
Образец цитирования:
В. И. Николаев, А. И. Печников, С. И. Степанов, Ш. Ш. Шарофидинов, А. А. Головатенко, И. П. Никитина, А. Н. Смирнов, В. Е. Бугров, А. Е. Романов, П. Н. Брунков, Д. А. Кириленко, “Хлоридная эпитаксия слоев $\beta$-Ga$_{2}$O$_{3}$ на сапфировых подложках базисной ориентации”, Физика и техника полупроводников, 50:7 (2016), 997–1000; Semiconductors, 50:7 (2016), 980–983
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6427 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v50/i7/p997
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 77 | PDF полного текста: | 28 |
|