|
Физика полупроводниковых приборов
Структура и оптические свойства композитного метаматериала AsSb–Al$_{0.6}$Ga$_{0.4}$As$_{0.97}$Sb$_{0.03}$
Л. А. Снигиревa, В. И. Ушановa, А. А. Ивановa, Н. А. Бертa, Д. А. Кириленкоa, М. А. Яговкинаa, В. В. Преображенскийb, М. А. Путятоb, Б. Р. Семягинb, И. А. Касаткинc, В. В. Чалдышевa a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
b Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
c Санкт-Петербургский государственный университет, 199034 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре с использованием прерываний роста успешно выращены эпитаксиальные слои Al$_x$Ga$_{1-x}$As$_{1-y}$Sb$_y$ с содержанием алюминия $x\sim$ 60% и содержанием сурьмы $y\sim$ 3%. Путем последующего отжига в полупроводниковой матрице сформирована развитая система нановключений AsSb. Увеличенное окно прозрачности полученного метаматериала позволило надежно документировать широкую полосу поглощения света вблизи края межзонного поглощения полупроводниковой матрицы Al$_x$Ga$_{1-x}$As$_{1-y}$Sb$_y$. Параметры наблюдаемой полосы экстинкции позволяют связать такое поглощение света с плазмонным резонансом в системе нановключений AsSb.
Ключевые слова:
молекулярно-лучевая эпитаксия, рентгенодифракционный анализ, просвечивающая электронная микроскопия, оптические свойства, плазмонный резонанс.
Поступила в редакцию: 19.01.2023 Исправленный вариант: 07.02.2023 Принята в печать: 09.02.2023
Образец цитирования:
Л. А. Снигирев, В. И. Ушанов, А. А. Иванов, Н. А. Берт, Д. А. Кириленко, М. А. Яговкина, В. В. Преображенский, М. А. Путято, Б. Р. Семягин, И. А. Касаткин, В. В. Чалдышев, “Структура и оптические свойства композитного метаматериала AsSb–Al$_{0.6}$Ga$_{0.4}$As$_{0.97}$Sb$_{0.03}$”, Физика и техника полупроводников, 57:1 (2023), 71–76
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts6836 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v57/i1/p71
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 17 | PDF полного текста: | 3 |
|