|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Физика полупроводниковых приборов
Поверхностно-излучающие квантово-каскадные лазеры с дифракционной решеткой, сформированной методом прямой ионной литографии
А. В. Бабичевa, Д. А. Михайловb, Е. С. Колодезныйa, А. Г. Гладышевa, Г. В. Вознюкb, М. И. Митрофановbc, Д. В. Денисовd, С. О. Слипченкоb, А. В. Лютецкийb, В. В. Дюделевb, В. П. Евтихиевb, Л. Я. Карачинскийa, И. И. Новиковa, Г. С. Соколовскийb, Н. А. Пихтинb, А. Ю. Егоровe a Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, 197101 Санкт-Петербург, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
c Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, 194021 Санкт-Петербург, Россия
d Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), 197022 Санкт-Петербург, Россия
e Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова
Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Представлены результаты исследований квантово-каскадных лазеров спектрального диапазона 7.5–8.0 мкм с кольцевым резонатором и поверхностным выводом излучения. Дифракционная решетка 2-го порядка с расчетной величиной коэффициента связывания $\sim$9 см$^{-1}$ сформирована на всей поверхности кольцевого резонатора методом прямой литографии сфокусированным ионным пучком. Продемонстрирована многомодовая лазерная генерация с поверхностным выводом излучения при комнатной температуре вблизи 7.75 мкм с пороговой плотностью тока $\sim$8 кА/см$^2$ при внешнем радиусе кольцевого резонатора 202 мкм. Результаты исследования распределения интенсивности в зоне дальнего поля вблизи нормали к поверхности показали наличие двух максимумов. Показано, что реализованного коэффициента связывания недостаточно для обеспечения одночастотного режима генерации в исследуемых квантово-каскадных лазерах с кольцевым резонатором.
Ключевые слова:
сверхрешетки, квантово-каскадный лазер, эпитаксия, фосфид индия, прямая ионная литография.
Поступила в редакцию: 18.04.2022 Исправленный вариант: 25.06.2022 Принята в печать: 05.07.2022
Образец цитирования:
А. В. Бабичев, Д. А. Михайлов, Е. С. Колодезный, А. Г. Гладышев, Г. В. Вознюк, М. И. Митрофанов, Д. В. Денисов, С. О. Слипченко, А. В. Лютецкий, В. В. Дюделев, В. П. Евтихиев, Л. Я. Карачинский, И. И. Новиков, Г. С. Соколовский, Н. А. Пихтин, А. Ю. Егоров, “Поверхностно-излучающие квантово-каскадные лазеры с дифракционной решеткой, сформированной методом прямой ионной литографии”, Физика и техника полупроводников, 56:9 (2022), 908–914; Semiconductors, 57:10 (2023), 445–450
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7124 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v56/i9/p908
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 10 | PDF полного текста: | 3 |
|