|
Физика полупроводниковых приборов
Исследование активных областей на основе многопериодных сверхрешеток GaAsN/InAs
А. В. Бабичевa, Е. В. Пироговb, М. С. Соболевb, Д. В. Денисовb, Н. А. Фоминыхbc, А. И. Барановb, А. С. Гудовскихb, И. А. Мельниченкоbc, П. А. Юнинd, В. Н. Неведомскийe, М. В. Токаревe, Б. Я. Берe, А. Г. Гладышевa, Л. Я. Карачинскийa, И. И. Новиковa, А. Ю. Егоровb a Национальный исследовательский университет ИТМО, 197101 Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова
Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
c Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики» (Санкт-Петербургский филиал), 190121 Санкт-Петербург, Россия
d Институт физики микроструктур РАН, 03950 Нижний Новгород, Россия
e Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Представлены результаты исследования азотсодержащих активных областей на основе сверхрешеток, выращенных на подложках GaAs. Активные области на основе чередующихся слоев InAs и GaAsN сформированы методом молекулярно-пучковой эпитаксии c плазменным источником азота. На основе анализа рентгенодифракционных кривых качания проведены оценки толщин и среднего состава слоев сверхрешеток. Исследование темнопольных изображений, полученных методом просвечивающей электронной микроскопии, показало наличие интердиффузии слоев InAs в слои GaAsN. Представлены результаты исследования спектров фотолюминесценции, а также электролюминесценции при различных уровнях накачки. Продемонстрирована эффективная электролюминесценция вблизи 1150 нм с характерной полной шириной линии, измеренной на полувысоте $\sim$90 мэВ.
Ключевые слова:
сверхрешетки, молекулярно-пучковая эпитаксия, арсенид галлия, разбавленный нитрид, GaAsN, InAs.
Поступила в редакцию: 23.08.2022 Исправленный вариант: 26.09.2022 Принята в печать: 26.09.2022
Образец цитирования:
А. В. Бабичев, Е. В. Пирогов, М. С. Соболев, Д. В. Денисов, Н. А. Фоминых, А. И. Баранов, А. С. Гудовских, И. А. Мельниченко, П. А. Юнин, В. Н. Неведомский, М. В. Токарев, Б. Я. Бер, А. Г. Гладышев, Л. Я. Карачинский, И. И. Новиков, А. Ю. Егоров, “Исследование активных областей на основе многопериодных сверхрешеток GaAsN/InAs”, Физика и техника полупроводников, 56:10 (2022), 1002–1010
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7139 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v56/i10/p1002
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 9 | PDF полного текста: | 2 |
|