|
Физика полупроводниковых приборов
Одночастотные квантово-каскадные лазеры с переменной глубиной травления штрихов дифракционной решетки
А. В. Бабичевa, Н. Ю. Харинb, Е. С. Колодезныйa, Д. С. Папылевa, Г. В. Вознюкc, М. И. Митрофановcd, А. Г. Гладышевa, С. О. Слипченкоc, А. В. Лютецкийc, В. П. Евтихиевc, В. Ю. Паневинb, Л. Я. Карачинскийa, И. И. Новиковa, Н. А. Пихтинc, А. Ю. Егоровa a Национальный исследовательский университет ИТМО, 197101 Санкт-Петербург, Россия
b Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 195251 Санкт-Петербург, Россия
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
d Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, 194021 Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Представлены результаты исследования поверхностно-излучающих квантово-каскадных лазеров с селективным кольцевым резонатором радиуса 284 мкм. Использование дифракционной решетки с переменной глубиной травления (вплоть до 4.6 мкм) позволило реализовать одночастотный режим генерации на длине волны 7.42 и 7.66 мкм при температурах 85 и 293 K. Максимальный коэффициент подавления боковых мод составил 23 дБ при температуре 293 K. Характеристическая температура $T_0$ равнялась 166 K.
Ключевые слова:
квантово-каскадный лазер, одночастотная генерация, фосфид индия, метод прямой ионной литографии, дифракционная решетка.
Поступила в редакцию: 17.03.2025 Исправленный вариант: 31.03.2025 Принята в печать: 10.04.2025
Образец цитирования:
А. В. Бабичев, Н. Ю. Харин, Е. С. Колодезный, Д. С. Папылев, Г. В. Вознюк, М. И. Митрофанов, А. Г. Гладышев, С. О. Слипченко, А. В. Лютецкий, В. П. Евтихиев, В. Ю. Паневин, Л. Я. Карачинский, И. И. Новиков, Н. А. Пихтин, А. Ю. Егоров, “Одночастотные квантово-каскадные лазеры с переменной глубиной травления штрихов дифракционной решетки”, Физика и техника полупроводников, 59:1 (2025), 23–28
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts7167 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v59/i1/p23
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 51 | PDF полного текста: | 16 |
|