Влияние олова на процессы формирования нанокристаллов кремния в тонких пленках аморфной матрицы SiO$_x$

Исследовано влияние примеси олова на процессы формирования кристаллов кремния наноразмеров в тонких пленках аморфной оксидно-кремниевой матрицы ($a$-SiO$_x$, $x\approx$ 1.15). Установлено, что примесь олова ускоряет процесс кристаллизации аморфного кремния. После температурной обработки в атмосфере аргона кристаллиты кремния в оксидно-кремниевой матрице с оловом ($a$-SiO$_x$Sn) имеют меньшие размеры (6–9 нм) по сравнению с крсталлитами в $a$-SiO$_x$ ($\ge$ 10 нм). Показано, что в $a$-SiO$_x$Sn объемная доля кристаллической фазы после отжига при температурах 800–1100$^\circ$C возрастает от 20 до 80%. В то же время в образцах без олова кристаллическая фаза кремния появляется только после отжига при температурах 1000 и 1100$^\circ$C, а объемная доля кристаллической фазы составляет 45 и 65% соответственно.