Пороги распыления при бомбардировке ионами различных мишеней

Анализируются столкновительные модели, приводящие к объяснению положения энергетических порогов при распылении различных материалов. Совокупность имеющихся экспериментальных и расчетных данных удается описать в рамках модели, учитывающей многократные столкновения. Предлагается эмпирическая кривая для описания положения порогов во всем возможном диапазоне соотношений масс сталкивающихся частиц. Показано сильное влияние формы поверхностного потенциального барьера на положение энергетического порога распыления.