Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2023, том 49, выпуск 4, страницы 28–30
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2023.04.54523.19429 (Mi pjtf6918) 		 
Ионно-плазменное осаждение многокомпонентных пленок с заданным законом распределения состава по толщине

А. Б. Козырев, В. А. Вольпяс, А. В. Тумаркин, А. Г. Алтынников, А. Е. Комлев, Р. А. Платонов, П. М. Трофимов

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (117 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2023.04.54523.19429
Аннотация: Предложен метод ионно-плазменного осаждения тонких многокомпонентных пленок с возможностью управления составом по толщине (graded film) при изменении давления рабочего газа по заданному закону. На примере структуры типа перовскита Ba$_x$Sr$_{1-x}$TiO$_3$ получены расчетные (моделирование методом Монте-Карло) и экспериментальные зависимости компонентного состава пленок Ba$_x$Sr$_{1-x}$TiO$_3$ и скорости их осаждения от давления рабочего газа. В качестве примера рассмотрена возможность напыления пленок Ba$_x$Sr$_{1-x}$TiO$_3$ с линейным распределением состава по толщине.
Ключевые слова: ионно-плазменное осаждение, тонкие многокомпонентные пленки, управление составом.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 22-29-01607
Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 22-29-01607 (https://rscf.ru/en/project/22-29-01607/).
Поступила в редакцию: 14.11.2022
Исправленный вариант: 12.12.2022
Принята в печать: 14.12.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Б. Козырев, В. А. Вольпяс, А. В. Тумаркин, А. Г. Алтынников, А. Е. Комлев, Р. А. Платонов, П. М. Трофимов, “Ионно-плазменное осаждение многокомпонентных пленок с заданным законом распределения состава по толщине”, Письма в ЖТФ, 49:4 (2023), 28–30
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KozVolTum23}
\by А.~Б.~Козырев, В.~А.~Вольпяс, А.~В.~Тумаркин, А.~Г.~Алтынников, А.~Е.~Комлев, Р.~А.~Платонов, П.~М.~Трофимов
\paper Ионно-плазменное осаждение многокомпонентных пленок с заданным законом распределения состава по толщине
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2023
\vol 49
\issue 4
\pages 28--30
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf6918}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2023.04.54523.19429}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=50250362}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf6918
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v49/i4/p28
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:15
    PDF полного текста:3
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025