Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2023, том 49, выпуск 22, страницы 19–22
DOI: https://doi.org/10.61011/PJTF.2023.22.56594.19716 (Mi pjtf7115) 		 
Вакуумный (безгазовый) непрерывный магнетронный разряд с холодным плоским катодом-мишенью

М. В. Шандриковa, Е. М. Оксab, В. О. Оскиркоa, А. А. Черкасовa

a Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
b Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
PDF полного текста (875 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/PJTF.2023.22.56594.19716
Аннотация: Реализован непрерывный режим вакуумного (безгазового) магнетронного разряда с холодным плоским катодом-мишенью при остаточном давлении вплоть до 4 $\cdot$ 10$^{-3}$ Pa и токе разряда 8–12 А (120–200 mA/cm$^2$). Приведены результаты исследований масс-зарядового состава ионов плазмы, а также сравнение основных параметров разряда и скорости нанесения покрытий в вакуумном и газовом режимах.
Ключевые слова: магнетрон, вакуумный режим, ионный состав, скорость осаждения.
Поступила в редакцию: 30.08.2023
Исправленный вариант: 27.09.2023
Принята в печать: 28.09.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. В. Шандриков, Е. М. Окс, В. О. Оскирко, А. А. Черкасов, “Вакуумный (безгазовый) непрерывный магнетронный разряд с холодным плоским катодом-мишенью”, Письма в ЖТФ, 49:22 (2023), 19–22
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShaOksOsk23}
\by М.~В.~Шандриков, Е.~М.~Окс, В.~О.~Оскирко, А.~А.~Черкасов
\paper Вакуумный (безгазовый) непрерывный магнетронный разряд с холодным плоским катодом-мишенью
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2023
\vol 49
\issue 22
\pages 19--22
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf7115}
\crossref{https://doi.org/10.61011/PJTF.2023.22.56594.19716}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=54907511}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7115
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v49/i22/p19
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:21
    PDF полного текста:9
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025