Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2022, том 48, выпуск 6, страницы 51–54
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2022.06.52214.19103 (Mi pjtf7271) 		 
Субволновые текстурированные поверхности для вывода излучения из волновода

Г. В. Вознюкab, И. Н. Григоренкоac, М. И. Митрофановabd, В. В. Николаевa, В. П. Евтихиевab

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
c Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
d Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (826 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2022.06.52214.19103
Аннотация: Продемонстрирована технология создания текстурированных поверхностей методом ионно-лучевого травления сфокусированным пучком на подложках GaAs (100). Показана возможность гибкого управления формой и профилем формируемых субмикронных элементов текстурированных сред, что впоследствии позволит создать текстурированные поверхности практически любой сложности для реализации поверхностного вывода излучения из волновода. Разработаны оригинальные литографические шаблоны и проведена трехмерная литография. Контроль сформированных литографических рисунков осуществлялся методами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии.
Ключевые слова: ионно-лучевое травление, метаповерхность, текстурированная поверхность, литография, поверхностный вывод излучения.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 21-12-00304
Работа поддержана грантом Российского научного фонда (проект № 21-12-00304).
Поступила в редакцию: 09.12.2021
Исправленный вариант: 12.01.2022
Принята в печать: 13.01.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Г. В. Вознюк, И. Н. Григоренко, М. И. Митрофанов, В. В. Николаев, В. П. Евтихиев, “Субволновые текстурированные поверхности для вывода излучения из волновода”, Письма в ЖТФ, 48:6 (2022), 51–54
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VozGriMit22}
\by Г.~В.~Вознюк, И.~Н.~Григоренко, М.~И.~Митрофанов, В.~В.~Николаев, В.~П.~Евтихиев
\paper Субволновые текстурированные поверхности для вывода излучения из волновода
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2022
\vol 48
\issue 6
\pages 51--54
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf7271}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2022.06.52214.19103}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=48019521}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7271
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v48/i6/p51
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:50
    PDF полного текста:34
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026