Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2022, том 48, выпуск 23, страницы 22–25
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2022.23.53947.19361 (Mi pjtf7455) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Определение толщин и глубин залегания подповерхностных наноструктур с помощью сканирующего электронного микроскопа

Э. И. Рау, С. В. Зайцев, В. Ю. Караулов

Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Москва, Россия
PDF полного текста (399 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.21883/PJTF.2022.23.53947.19361
Аннотация: Выведены расчетные соотношения сигнала обратнорассеянных электронов для многослойных наноструктур в зависимости от энергии зондирующих электронов и состава многокомпонентных образцов. По экспериментально измеренным сигналам и расчетным соотношениям определены не только толщины, но и впервые глубины залегания локальных микронеоднородностей трехмерных наноструктур. Исследования проведены неразрушающим методом детектирования обратнорассеянных электронов в сканирующем электронном микроскопе.
Ключевые слова: многослойные наноструктуры, сканирующая электронная микроскопия.
Поступила в редакцию: 12.09.2022
Исправленный вариант: 12.10.2022
Принята в печать: 12.10.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Э. И. Рау, С. В. Зайцев, В. Ю. Караулов, “Определение толщин и глубин залегания подповерхностных наноструктур с помощью сканирующего электронного микроскопа”, Письма в ЖТФ, 48:23 (2022), 22–25
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{RauZaiKar22}
\by Э.~И.~Рау, С.~В.~Зайцев, В.~Ю.~Караулов
\paper Определение толщин и глубин залегания подповерхностных наноструктур с помощью сканирующего электронного микроскопа
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2022
\vol 48
\issue 23
\pages 22--25
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf7455}
\crossref{https://doi.org/10.21883/PJTF.2022.23.53947.19361}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=49990314}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7455
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v48/i23/p22
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:130
    PDF полного текста:68
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026