Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2025, том 51, выпуск 6, страницы 12–14
DOI: https://doi.org/10.61011/PJTF.2025.06.59924.20121 (Mi pjtf7518) 		 
Мультифотонная микроскопия как способ контроля степени очистки структур нитевидных нанокристаллов кремния

П. С. Лемешкоa, В. М. Кондратьевbc, Е. А. Вячеславоваc, В. А. Мошниковa

a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
b Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Московская облаcть, г. Долгопрудный
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (396 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/PJTF.2025.06.59924.20121
Аннотация: Метод мультифотонной микроскопии является перспективным для контроля степени загрязнения и очистки твердотельных структур и микроструктур. Показано, что в отличие от стандартных методов сканирующей лазерной микроскопии метод мультифотонной микроскопии обеспечивает получение информации о локализации загрязнений на структуре нитевидных кремниевых нанокристаллов, а также позволяет качественно оценить степень ее очистки после проведения процедуры по очистке.
Ключевые слова: двухфотонная микроскопия, двухфотонная фотолюминесценция, нитевидные нанокристаллы, кремний.
Поступила в редакцию: 16.09.2024
Исправленный вариант: 25.10.2024
Принята в печать: 12.11.2024
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: П. С. Лемешко, В. М. Кондратьев, Е. А. Вячеславова, В. А. Мошников, “Мультифотонная микроскопия как способ контроля степени очистки структур нитевидных нанокристаллов кремния”, Письма в ЖТФ, 51:6 (2025), 12–14
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LemKonVya25}
\by П.~С.~Лемешко, В.~М.~Кондратьев, Е.~А.~Вячеславова, В.~А.~Мошников
\paper Мультифотонная микроскопия как способ контроля степени очистки структур нитевидных нанокристаллов кремния
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2025
\vol 51
\issue 6
\pages 12--14
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf7518}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=80598156}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7518
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v51/i6/p12
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026