|
Письма в Журнал технической физики, 2025, том 51, выпуск 10, страницы 7–10 DOI: https://doi.org/10.61011/PJTF.2025.10.60323.20209
(Mi pjtf7574)
|
|
|
|
Влияние буферного слоя на характеристики слоев GaPN, выращенных методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложках кремния
Е. В. Никитинаab, Е. В. Пироговa, А. К. Кавеевb, В. В. Федоровa a Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова
Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
DOI:
https://doi.org/10.61011/PJTF.2025.10.60323.20209
Аннотация:
Проведены сравнительные исследования влияния буферного слоя на характеристики слоев GaPN, выращенных методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложках кремния. Исследованы структуры с GaP-буфером, выращенным с использованием метода “эпитаксии с повышенным темпом миграции” (MEE-GaP-буфер), и низкотемпературным GaP-буфером с плавно увеличивающейся температурой роста. Показано,что интенсивность фотолюминесценции для структур с MEE-GaP и оптимизированным GaP-буфером практически одинакова, однако релаксация напряжений происходит по-разному.
Ключевые слова:
разбавленные нитриды, гетероструктуры, молекулярно-пучковая эпитаксия, кремниевая подложка.
Поступила в редакцию: 03.12.2024 Исправленный вариант: 11.01.2025 Принята в печать: 27.01.2025
Образец цитирования:
Е. В. Никитина, Е. В. Пирогов, А. К. Кавеев, В. В. Федоров, “Влияние буферного слоя на характеристики слоев GaPN, выращенных методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложках кремния”, Письма в ЖТФ, 51:10 (2025), 7–10
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7574 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v51/i10/p7
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 71 | | PDF полного текста: | 36 |
|