Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2025, том 51, выпуск 10, страницы 52–56
DOI: https://doi.org/10.61011/PJTF.2025.10.60335.20106 (Mi pjtf7586) 		 
Влияние скорости лазерной обработки на кристаллизацию кремния в двухслойной структуре алюминий/кремний на гибкой полиимидной подложке

Л. Д. Волковойнова, А. В. Козловский, В. В. Галушка, С. Б. Вениг, А. А. Сердобинцев

Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского, Саратов, Россия
PDF полного текста (1459 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/PJTF.2025.10.60335.20106
Аннотация: Исследовано влияние скорости обработки инфракрасным импульсным лазерным излучением двухслойной тонкопленочной структуры алюминий/кремний на гибкой полиимидной подложке на ее состав, кристаллическую структуру и морфологию поверхности. Для этого сформировано несколько линий со скоростями перемещения лазера 100–300 mm/s. Образцы изучались методами комбинационного рассеяния света, энергодисперсионного анализа и атомно-силовой микроскопии. Проведенное комплексное изучение обработанных участков позволило выделить до семи областей, различающихся структурой кремниевого слоя. В результате исследований выявлены полностью кристаллизованные и содержащие в себе смесь кристаллической и аморфной фазы области.
Ключевые слова: гибкая электроника, кристаллизация кремния, металл-индуцированная кристаллизация кремния, индуцированная лазером кристаллизация кремния, инфракрасный лазер.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 23-22-00047
Исследование выполнено при финансовой поддержке РНФ № 23-22-00047 (https://rscf.ru/en/project/23-22-00047/).
Поступила в редакцию: 05.09.2024
Исправленный вариант: 10.02.2025
Принята в печать: 11.02.2025
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Л. Д. Волковойнова, А. В. Козловский, В. В. Галушка, С. Б. Вениг, А. А. Сердобинцев, “Влияние скорости лазерной обработки на кристаллизацию кремния в двухслойной структуре алюминий/кремний на гибкой полиимидной подложке”, Письма в ЖТФ, 51:10 (2025), 52–56
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VolKozGal25}
\by Л.~Д.~Волковойнова, А.~В.~Козловский, В.~В.~Галушка, С.~Б.~Вениг, А.~А.~Сердобинцев
\paper Влияние скорости лазерной обработки на кристаллизацию кремния в двухслойной структуре алюминий/кремний на гибкой полиимидной подложке
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2025
\vol 51
\issue 10
\pages 52--56
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf7586}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=82307842}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7586
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v51/i10/p52
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:61
    PDF полного текста:30
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026