Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в Журнал технической физики, 2015, том 41, выпуск 14, страницы 72–78 (Mi pjtf7781)  

Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb$_2$Al)N с аморфноподобной фазой AlN

В. И. Иващенкоa, А. Д. Погребнякb, О. В. Собольc, В. Н. Рогозb, А. А. Мейлеховc, С. Н. Дубd, А. И. Купчишинe

a Институт проблем материаловедения НАН Украины, Киев-142, Украина, Киев
b Сумской государственный университет, Сумы, Украина
c Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт"
d Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля НАН Украины, г. Киев
e Казахский национальный педагогический университет им. Абая
Аннотация: Исследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb$_2$Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb$_2$Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29–33.5 и 46–48 GPa соответственно.
Поступила в редакцию: 20.01.2015
Английская версия:
Technical Physics Letters, 2015, Volume 41, Issue 7, Pages 697–700
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785015070214
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. И. Иващенко, А. Д. Погребняк, О. В. Соболь, В. Н. Рогоз, А. А. Мейлехов, С. Н. Дуб, А. И. Купчишин, “Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb$_2$Al)N с аморфноподобной фазой AlN”, Письма в ЖТФ, 41:14 (2015), 72–78; Tech. Phys. Lett., 41:7 (2015), 697–700
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{IvaPogSob15}
\by В.~И.~Иващенко, А.~Д.~Погребняк, О.~В.~Соболь, В.~Н.~Рогоз, А.~А.~Мейлехов, С.~Н.~Дуб, А.~И.~Купчишин
\paper Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb$_2$Al)N с аморфноподобной фазой AlN
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2015
\vol 41
\issue 14
\pages 72--78
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf7781}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=24196482}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2015
\vol 41
\issue 7
\pages 697--700
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785015070214}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7781
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v41/i14/p72
  • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:166
    PDF полного текста:121
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026