|
|
Письма в Журнал технической физики, 2015, том 41, выпуск 14, страницы 72–78
(Mi pjtf7781)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb$_2$Al)N с аморфноподобной фазой AlN
В. И. Иващенкоa, А. Д. Погребнякb, О. В. Собольc, В. Н. Рогозb, А. А. Мейлеховc, С. Н. Дубd, А. И. Купчишинe a Институт проблем материаловедения НАН Украины, Киев-142, Украина, Киев
b Сумской государственный университет, Сумы, Украина
c Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт"
d Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля НАН Украины, г. Киев
e Казахский национальный педагогический университет им. Абая
Аннотация:
Исследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb$_2$Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb$_2$Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29–33.5 и 46–48 GPa соответственно.
Поступила в редакцию: 20.01.2015
Образец цитирования:
В. И. Иващенко, А. Д. Погребняк, О. В. Соболь, В. Н. Рогоз, А. А. Мейлехов, С. Н. Дуб, А. И. Купчишин, “Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb$_2$Al)N с аморфноподобной фазой AlN”, Письма в ЖТФ, 41:14 (2015), 72–78; Tech. Phys. Lett., 41:7 (2015), 697–700
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf7781 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v41/i14/p72
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 166 | | PDF полного текста: | 121 |
|