|
|
Письма в Журнал технической физики, 2011, том 37, выпуск 14, страницы 54–59
(Mi pjtf9225)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Исследование электрофизических и структурных параметров YBCO-пленок, выращенных за несколько ростовых циклов
Н. В. Востоков, М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Исследованы изменения электрофизических и структурных характеристик эпитаксиальных пленок YBCO в процессе поэтапного увеличения их толщины до 1 $\mu$m. Показано, что высокое качество получаемых пленок не ухудшается при перерывах в процессе роста, связанных с формированием рисунка на образце и измерением электрофизических характеристик пленки в жидком азоте. Это показывает возможность использования в процессе напыления пленок YBCO промежуточных этапов литографии с целью формирования неоднородных по толщине структур.
Поступила в редакцию: 27.01.2011
Образец цитирования:
Н. В. Востоков, М. Н. Дроздов, Ю. Н. Дроздов, Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин, “Исследование электрофизических и структурных параметров YBCO-пленок, выращенных за несколько ростовых циклов”, Письма в ЖТФ, 37:14 (2011), 54–59; Tech. Phys. Lett., 37:7 (2011), 671–673
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pjtf9225 https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v37/i14/p54
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 115 | | PDF полного текста: | 55 |
|