Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2010, том 36, выпуск 3, страницы 53–59 (Mi pjtf9412)  
Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами

Е. О. Филатоваabc, К. М. Лысенковabc, А. А. Соколовabc, А. А. Овчинниковabc, Д. Е. Марченкоabc, В. М. Кашкаровabc, И. В. Назариковabc

a Санкт-Петербургский государственный университет
b BESSY II, Helmholtz-Zentrum Berlin, 12489 Berlin, Germany
c Воронежский государственный университет
PDF полного текста (164 kB) Английская версия
Аннотация: Исследовался пористый кремний (por-Si), полученный электрохимическим травлением монокристаллического Si (100) в водном растворе фторида аммония с добавлением изопропилового спирта. Исследование проводилось методами рентгеновской спектроскопии отражения, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и квантового выхода внешнего рентгеновского фотоэффекта. Установлено, что por-Si, полученный по нетрадиционной методике (без использования плавиковой кислоты), является частично аморфизированным и имеет на поверхности стабильный во времени окисел, не превышающий по толщине 5 nm.
Поступила в редакцию: 14.07.2009
Английская версия:
Technical Physics Letters, 2010, Volume 36, Issue 2, Pages 119–121
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785010020082
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Е. О. Филатова, К. М. Лысенков, А. А. Соколов, А. А. Овчинников, Д. Е. Марченко, В. М. Кашкаров, И. В. Назариков, “Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами”, Письма в ЖТФ, 36:3 (2010), 53–59; Tech. Phys. Lett., 36:2 (2010), 119–121
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{FilLysSok10}
\by Е.~О.~Филатова, К.~М.~Лысенков, А.~А.~Соколов, А.~А.~Овчинников, Д.~Е.~Марченко, В.~М.~Кашкаров, И.~В.~Назариков
\paper Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2010
\vol 36
\issue 3
\pages 53--59
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf9412}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20327116}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2010
\vol 36
\issue 2
\pages 119--121
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785010020082}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf9412
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v36/i3/p53
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:83
    PDF полного текста:128
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026