Письма в Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал технической физики, 2010, том 36, выпуск 18, страницы 60–66 (Mi pjtf9624)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Осаждение YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ пленок на обе стороны подложки методом магнетронного напыления

Н. В. Востоков, Ю. Н. Дроздов, Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (339 kB) Список цитирования (1) Английская версия
Аннотация: Исследованы особенности формирования пленок YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ на обеих сторонах подложки при их поочередном нанесении методом магнетронного напыления в геометрии on-axis. При напылении пленки на первую сторону подложки, на ее второй стороне формируется тонкая пленка, которая может служить качественным подслоем при получении пленки заданной толщины на второй стороне подложки. Показано, что контроль свойств пленки, сформировавшейся на обратной стороне подложки в процессе напыления на лицевую сторону, может служить тестом на оптимизацию технологических параметров роста.
Поступила в редакцию: 29.01.2010
Английская версия:
Technical Physics Letters, 2010, Volume 36, Issue 9, Pages 859–861
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063785010090245
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Н. В. Востоков, Ю. Н. Дроздов, Д. В. Мастеров, С. А. Павлов, А. Е. Парафин, “Осаждение YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ пленок на обе стороны подложки методом магнетронного напыления”, Письма в ЖТФ, 36:18 (2010), 60–66; Tech. Phys. Lett., 36:9 (2010), 859–861
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VosDroMas10}
\by Н.~В.~Востоков, Ю.~Н.~Дроздов, Д.~В.~Мастеров, С.~А.~Павлов, А.~Е.~Парафин
\paper Осаждение YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-\delta}$ пленок на обе стороны подложки методом магнетронного напыления
\jour Письма в ЖТФ
\yr 2010
\vol 36
\issue 18
\pages 60--66
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pjtf9624}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20327330}
\transl
\jour Tech. Phys. Lett.
\yr 2010
\vol 36
\issue 9
\pages 859--861
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063785010090245}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf9624
  • https://www.mathnet.ru/rus/pjtf/v36/i18/p60
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал технической физики Письма в Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:102
    PDF полного текста:72
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026