О механизмах рекомбинации атомов кислорода и азота на кварце

Рассмотрена гетерогенная рекомбинация атомов азота и кислорода. Описана установка и методика определения вероятности гетерогенной рекомбинации атомов $\rm O$ и $\rm N$ с помощью резонансно-флуоресцентной спектроскопии в строго контролируемых условиях. Изучено изменение вероятности рекомбинации атомов азота и кислорода на поверхности кварца в диапазоне температур $297$–$1000$ К и давлений $0.01$–$10$ мбар. Выделены области давлений и температур, где рекомбинация происходит преимущественно по схеме Ленгмюра–Хиншельвуда или по схеме Или–Ридила. Приведены данные по энергии активации рекомбинации. Показано, что рекомбинация атомов азота и кислорода в основном происходит на различных активных центрах.