Сравнение фемтосекундной лазерной абляции монокристаллического и пористого образцов кремния

С помощью интерференционной микроскопии изучены особенности абляции монокристаллического и пористого образцов кремния при однократном воздействии лазерных импульсов длительностью $50$ фс умеренной интенсивности $(1$–$10$ ТВт/см$^2)$ на воздухе. Измерены коэффициенты отражения и определены пороговые значения фемтосекундной лазерной абляции по поглощенной плотности энергии. Исследована морфология кратеров и их глубина в зависимости от плотности энергии лазерных импульсов. Установлено, что порог абляции пористого кремния по поглощенной плотности энергии в $2.3$ раза ниже, чем у монокристаллического, а глубина кратеров превышает таковую более чем в пять раз.