|
Теплофизика высоких температур, 2006, том 44, выпуск 6, страницы 823–831
(Mi tvt1448)
|
|
|
|
Исследование плазмы
Исследование пространственного распределения продуктов лазерной абляции и их осаждения на подложку
в случае лазерного воздействия с острой фокусировкой
Н. С. Захаров, В. В. Руденко Центральный физико-технический институт, г. Сергиев Посад
Аннотация:
Приведены результаты численного моделирования воздействия лазерного излучения на длине волны $1.313$ мкм с острой фокусировкой на кремниевую мишень. Исследовалось поведение газодинамических параметров и специфика режимов плазмообразования при таком облучении. Установлен характер зависимости конфигурации и скорости движения границы облака от размеров пятна облучения, угла схождения падающего излучения и его интенсивности. Для температуры и плотности внутри плазменного облака получены зависимости от времени. Выполнена оценка возможности напыления продуктов лазерной абляции на подложку и рассчитаны конфигурации напыленной пленки для различных режимов облучения.
Поступила в редакцию: 19.07.2005
Образец цитирования:
Н. С. Захаров, В. В. Руденко, “Исследование пространственного распределения продуктов лазерной абляции и их осаждения на подложку
в случае лазерного воздействия с острой фокусировкой”, ТВТ, 44:6 (2006), 823–831; High Temperature, 44:6 (2006), 814–822
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/tvt1448 https://www.mathnet.ru/rus/tvt/v44/i6/p823
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 147 | PDF полного текста: | 65 |
|