Диагностика плазмы импульсно-периодического излучателя на молекулах $\mathrm{KrCl}/\mathrm{KrF}/\mathrm{Cl}_2$

Представлены результаты спектроскопической диагностики плазмы эксимерного излучателя на системе полос $222$ нм $\mathrm{KrCl}/249$ нм $\mathrm{KrF}/258$ нм $\mathrm{Cl}_2$, возбуждаемого при помощи импульсно-периодического поперечного разряда в смесях $\mathrm{He}(\mathrm{Ar})/\mathrm{Kr}/\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2(\mathrm{CCl}_4,\mathrm{HCl})$. Исследовались обзорные спектры, временные и ресурсные характеристики излучения плазмы. В плазме на основе гелиевых смесей наблюдалось излучение материала электродов поперечного разряда $(\mathrm{FeI}^*)$, проявляющееся при наличии УФ-излучения эксимерных молекул. При умеренном напряжении питания наиболее эффективными рабочими средами были смеси $\mathrm{Ar}(\mathrm{He})/\mathrm{Kr}/\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2(P=20-30$ кПа). Использование молекул $\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$ в качестве единого носителя хлора и фтора позволило реализовать многоволновой режим работы УФ-излучателя на $\mathrm{KrCl}/\mathrm{KrF}/\mathrm{Cl}_2$ с соотношением яркости полос $9/1/1$. Показано, что в средах на основе $\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$ основной вклад в образование эксимерных молекул вносят процессы с участием $\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$, а молекулы $\mathrm{CCl}_4$ непосредственного участия в образовании $\mathrm{KrCl}$ не принимают.